PZ10-HS-DS质量流量计/控制器
流量仪表XD mass 系列是一款模拟数字兼容模式的仪表，可通过模拟数显控制仪或仪表面板调节，或者 PLC 进行设定和显示瞬时流量，此款产品应用了 MultiFlow 技术，可内置多种气体。可以适应多种量程。广泛应用于各种大流量测量及控制场合。
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产品详情
1、PZ10-HS-DS质量流量计产品展示：
产品简介：
质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精 密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、 环境保护和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺 设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
工作原理：
PZ10-HS/DS 系列气体质量流量控制器较好的精度、坚固性及可靠性源于我公司特别的 传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度 及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的降温效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的 原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金 RTD 丝缠绕在坚固 的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在 316 不锈钢包装壳内。
主要技术指标：
1
量程范围
（0～500,1000,1500,2000,2500,3000...）SLM
2
准 确 度
±0.5%F.S/±1.0%F.S
3
线 性
±0.5%F.S
4
重复精度
±0.2%F.S
5
响应时间
电特性：1sec 气特性：（1～4）sec
6
工作压差
0.02～1.0Mpa
7
耐 压
3Mpa,10Mpa
8
工作环境温度
0～50℃
9
数 字 量
RS485/232 MODBUS 协议
10
模 拟 量
DC 0～5V ，1～5V，4～20mA 可选
11
供 电
DC ±15V/24V 可选，电源功率≥20W
12
电气连接
DB15 针
13
漏 率
1×10-9SCCSHe
14
底座材质
316L 不锈钢
15
密封材质
氟橡胶，聚四氟乙烯，丁晴橡胶
16
气路接头
3/4〞，Φ20，Φ25，法兰连接
